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Japanese Journal Applied of Physicsに投稿論文(筆頭著者:鈴木)がアクセプトされました。

今年度の研究活動

2021年第68回応用物理学会春季学術講演会にて学生が発表

Japanese Journal Applied of Physicsに論文がアクセプトされました。

公益財団法人泉科学技術振興財団の研究助成に採択

成膜装置2号機が完成

装置紹介①:成膜装置初号機