成膜装置2号機が完成

学部4年生の卒業研究に使用する成膜装置2号機が完成しました。

チャンバーサイズは初号機より一回り小さくしました。

チャンバーはスプリード様に今回も作製頂き，電源等は中古品で取りそろえました。

成膜の様子。AlN膜を初成膜。

大学院入試準備に突入する前に完成出来てよかったです。

これからは成膜条件の最適化に取り組みます。