M2学生が筆頭著者(鈴木がcorresponding author)の論文がJapanese Journal Applied of Physicsにアクセプトされました。
High-overtone mode bulk acoustic wave resonators based on polarization inverted multilayer SiAlN/ScAlN films - IOPscienceScAlN薄膜とSiAlN薄膜の積層により形成した分極反転多層膜を用いたBAW共振子の特性評価に関する論文となります。