Japanese Journal Applied of Physicsに投稿論文(筆頭著者:M2学生)がアクセプト・公開されました。

  M2学生が筆頭著者(鈴木がcorresponding author)の論文がJapanese Journal Applied of Physicsにアクセプトされました。

High-overtone mode bulk acoustic wave resonators based on polarization inverted multilayer SiAlN/ScAlN films - IOPscience

ScAlN薄膜とSiAlN薄膜の積層により形成した分極反転多層膜を用いたBAW共振子の特性評価に関する論文となります。