鈴木が筆頭著者の論文がJapanese Journal Applied of Physicsにアクセプトされました。
分極が制御できるGeAlN膜の圧電・弾性特性の評価,分極反転GeAlN/AlN多層膜共振子の形成・評価についてまとめたものです。
今年のJJAP USE2022特集号に掲載される予定です。
鈴木が筆頭著者の論文がJapanese Journal Applied of Physicsにアクセプトされました。
分極が制御できるGeAlN膜の圧電・弾性特性の評価,分極反転GeAlN/AlN多層膜共振子の形成・評価についてまとめたものです。
今年のJJAP USE2022特集号に掲載される予定です。