2022年11月7~9日に開催された超音波シンポジム2022(USE2022)にてM2学生,私が発表しました。
M2学生「Fabrication and evaluation of high-order mode solid mounted resonators with polarity inverted GeAlN/AlN multilayered films」(口頭発表)
鈴木「Piezoelectric characteristics of c-axis oriented GeAlN films and applications to polarity inverted film HBARs」(ポスター発表)
鈴木がGeAlN薄膜の物性,M2学生がGeAlN/AlN積層膜を用いたBAW共振子について発表しました。M2学生の口頭発表はとても広い会場(下写真)での発表で,いい経験になったと思います。